MEMS气体流量传感器
采用欧姆龙独创的MEMS技术，实现可在微小流量(1L.min)～高流量(50L.min)大范围高精度检测
光电传感器
高分辨率、超小型的光电传感器，种类丰富
RF MEMS开关
应用于半导体设备、高频测量设备
振动传感器
具有微处理器输出、最大10μA的低耗电、高度2mm等特点
采用欧姆龙独创的MEMS技术，实现可在微小流量(1L.min)～高流量(50L.min)大范围高精度检测
高分辨率、超小型的光电传感器，种类丰富
应用于半导体设备、高频测量设备
具有微处理器输出、最大10μA的低耗电、高度2mm等特点
