粘片机中芯片丢失的光敏检测方法及其分析

1 引言

在粘片机的研制及生产过程中,芯片丢失检测技术作为该设备的关键技术之一,它直接影响到此类设备的可靠性,稳定性。键合头在拾取芯片后,往放置位快速运行的过程中,芯片有可能在此过程中脱落,因此,在放置前须检测吸头上是否有芯片。如有芯片,可以按正常流程在放置位放置芯片:如吸头处无芯片,表明芯片已丢失,吸头须回到拾取位,重新拾取芯片。在国内生产线上所用的粘片机,其芯片丢失的检测方法,一般均采用光敏检测方法或真空检测方法。

2 光敏检测理论基础

光电元件的基础理论是光电效应。光被看作是由一连串具有一定能量的粒子所构成,每个光子具有的能量hv正比于光的频率v(h为普朗克常数)。所以,用光照射一物体,就可以看作这物体受到一连串能量为hv的光子所轰击,而光电效应就是由于该物体吸收到光子能量为hv的光后产生的电效应。通常把光线照射到物体表面后产生的光电效应分为三类。

第一类,在光线作用下能使电子逸出物体表面的称外光电效应,基于外光电效应的光电元件有光电管、光电倍增管。

第二类,在光线作用下能使物体电阻率改变的称为内光电效应,又叫光电导效应,基于内光电效应的光电元件有光敏电阻,以及由光敏电阻制成的光导管等。

第三类,在光线作用下能使物体产生一定方向电动势的称阻挡层光电效应。基于阻挡层光电效应的光电元件,主要有光电池和光电晶体管等。

第一类的元件属于真空光电元件,第二、三类的元件属于半导体光电元件。

3 拾取机构

如图1所示,拾取机构由吸头,固定座,光敏管3部分组成。针对生产线上常见尺寸一般为0.15 mm×0.15 mm~2.O mm×2.0 mm,因此,吸头内孔的直径最小为O.1 mm。在光电检测方式下,内孔的直径越小,透光量越小,光敏管检测就越困难。在这种情况下,须增大运算放大器的放大倍数,但运放的放大倍数太大,由于光敏管暗电流太大而发生饱和,因此,选择的光敏晶体管应具备暗电流小,同时灵敏度高的特性。吸头安装于固定座时,在接触处加密封圈;安装光敏晶体管后,也须用密封胶做好密封措施,防止从固定座吸气口抽真空时腔体漏气。

4 检测方法

如图2所示,在HSDB-6105高速粘片机中,拾取机构在x,y,z 3个方向作直线运动。拾取机构将晶片工作台上的芯片拾取后,沿y轴方向运行于放置位的过程中,依靠检测安装于吸头y轴运行轨迹下方的发光二极管的光线来判断芯片是否丢失。如芯片丢失,则拾取机构运行经过发光二极管的上方时,位于固定座的光敏晶体管将检测到特定波长的光线;如检测不到,则说明芯片没有丢失。 因为吸头内孔的直径为0.1 mm,而其长度为20 mm,即使在芯片丢失的情况下,光敏管接受的由发光二极管发出的光量非常微弱,所以,在选择光敏管时应选择暗电流小而输出电流大的光敏管。经过比较,我们选择了SHARP公司硅光敏管,其型号和具体参数如表1。

4.1 发射器特性

GL380为SHARP公司的红外发光二极管。它是一种半导体发光器件,管芯由一个pn结组成,因掺入砷化镓(GaAs)而具有发光特性。当给pn结加上正向电压后,注入的空穴和电子对会相遇而产生复合释放出能量,复合时释放的能量大部分以光能的形式出现,并且此光为单色光,波长在950 nm左右。随着正向电压的提高,正向电流增加,发光二极管GL380产生的光通量也增加,其最大值受发光二极管最大允许电流的限制。

从表1及图3中可以看出,其电流IF最大可达50 mA,峰值波长λP为950 nm。在IF=20 mA的情况下,VF的典型值为12V,辐射光强φe可达1.8 mW。辐射强度在5mm的距离上衰减为20%,即0.36 mW。从发射器GL380的辐射光强(φe)和角度关系图(见图4)上可以看出,随着角度的增大,其辐射强度会随之下降。

4.2 探测器特性

探测器PT380为SHARP公司生产的硅光敏晶体管。其工作原理为光照射到PN结附近,使PN结产生电子一空穴对,它们在PN结处内电场的作用下,做定向运动形成光电流,由于光照射发射结产生的光电流相当于三极管的基极电流,因此集电极电流是光电流的β倍,所以具有较高的灵敏度。

从表2中可以看出,硅光敏管PT380集电极电流IC最大可达20mA,最大耗散功率PM可达50mW,峰值波长λP为950 nm,暗电流为100 nA。在光强为2.5 mW/mm2的条件下,集电极电流IC为25mA。发射器与探测器的间距5 mm的条件下,因此辐射光强达到0.36 mW/mm2,与此相对应的,集电极电流IC为8mA。

5 信号处理原理

信号的处理如图6所示,光敏管产生的电流经Rl转换成电压信号,由运放LM393N进行电压比较。电位器RP1提供比较的参考电压,由于不同芯片的透光率不同,并且生产中对不同尺寸芯片吸头的内孔直径有所不同,导致光敏管的受光量有所不同,因此,在生产过程中,可方便地调节参考电压。将运放输出信号作为D触发器的时钟信号,触发器的D端置高电平,Q端信号接一光耦作为输出信号。在拾取机构拾放片过程中,如有芯片丢失,则光敏管就会探测到发光二极管发出的波长为880 nm的光,输出光电流在LM393N的2脚形成电压值,与3脚电压进行比较,高于3脚电压,则在1脚形成低电平。LM393N的1脚输出信号作为D触发器的时钟信号,在此信号的下降沿有效,使D触发器的Q端输出一高电平并把此信号锁存,经光耦输出到控制器,控制器读取信号后,再输出RESET信号把D触发器复位。

我们对本光敏晶体管构成的检测系统进行了测试,在发射器与探测器间距为5mm的条件下,相关参数的测试结果如表3所示。从表3可以看出,因为PT308的暗电流很小(100nA),在芯片完全不透光的情况下,暗电流形成的电压为0.02 V,而吸头处无芯片的情况下,光电流形成的电压在1.5 V左右,这2个电压差值很大,通过设定参考电压(阀值电压)进行信号处理十分方便。

6 结束语

芯片丢失的检测采用光敏式检测方法,其优点是成本低,反应时间短,根据不同芯片特性易于设定,适应面广;缺点是须从拾片到放片的中间过程检测(真空检测法在拾取处可检测),这样,如在丢片时,空运行一个从拾片到放片的循环,浪费了循环时间,降低了设备运行效率。

录入时间:2007-09-28  来源:电子工业专用设备    作者:徐品烈,张世强  

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